情報詳細Q:きれいな高さ画像を取得するための注意点A:まず、スキャンレンジ(Z方向の撮像範囲)内にサンプルが正しく来ているかご確認ください。スキャンレンジに入っている場合でも、範囲の端の方ギリギリですと正しい高さ画像が取得できない可能性がありますので、スキャンレンジの中心付近にサンプルがある状況を推奨致します。次に、サンプルの傾き具合を確認してください。サンプルにもよりますが、反射率の高いサンプルほどセンサーに対して正対しているか傾いているかによって得られる干渉強度画像が大きく異なります。傾斜ステージなどを使用して、可能な限りサンプルがセンサーに正対するように、調整してください。また、干渉強度画像は輝度が400程度が最もきれいに高さ画像が復元できる状況です。輝度が低すぎたり高すぎたりする場合は、パラメーターを調整してください。*参照:干渉強度画像の輝度の調整 添付ファイルタイトルきれいな高さ画像を取得するための注意点URL 名000006158公開状況公開済み検証状況未検証