Q：
Zステージのモデルと精度【H8】

A:
H8にはZステージ(Zスキャナー)が標準版と高精度版の2つのモデルがございます。
標準版はリニアステージのエンコーダー分解能が20nm、
高精度版はエンコーダー分解能が1nmになります。
高さ画像の精度としましては、高さ計測値の標準偏差が、標準版が100ｎm以下、高精度版が30nm程度になります。