Q：
heliInspectの計測精度【H8/H6/H4】

A：
XY方向は分解能がレンズのラインアップにより異なります。
安定した画像処理を行うためには5～10ピクセルの領域は必要になります。

Z方向はH8の高精度版で30nm程度、標準版で100nm程度です。
この精度はZステージのエンコーダー分解能に依存しており、
高精度版はエンコーダー精度が+/-1nm、標準版は+/-20nmとなっております。

H6/H4はエンコーダー分解能が100nmとなっており、数百nmの精度で計測可能です。

位相モードを使用するとｚ方向がより高精度な計測が可能です。