Q:
矩形補正機能（Rectficationの機能）を有効にしても、ToF640-20gmの周辺部が歪みます。
補正方法はありますか？

A:
周辺部の歪は、レンズの歪以外の光学系要因でも歪んでしまいます。
撮像環境によるため、周辺部の歪を外部ソフトで補正するということは困難です。
運用面での対応や、ToFカメラ以外のセンサをご利用いただくことをご検討くださいませ。

2次元のキャリブレーションとは全く異なる原理であるため、光の干渉による影響については補正が困難です。
Z方向で平面を０．５ｍ、０．６ｍ、０．７ｍ、０．８ｍ、…　での撮像を行い、
撮影された対象物に対応する平面のZ方向の歪量を画像処理側で補正するという方法も考えられますが、
上記の平面撮影を撮像環境毎に行う必要があったり、対象物が平面物ではないため平面を撮影した光学条件とは一致しないため、
精度が安定しない可能性がございます。

光の干渉とは、光が壁の境目などに当たった時に直進せず周り込みが発生する現象です。
水面に石を投げたときに波紋が発生しますが、同じような現象が壁の境目などに当たったときに発生します。
これがレンズの境界部分でも発生していると考えられ、画角の外側から入ってくる光が干渉によりセンサー内へ入ってくるという物理現象を生じさせます。
外部サイトになりますが、ヤングの干渉実験という項目の図が参考になるかと思います。
http://www.wakariyasui.sakura.ne.jp/p/wave/kannsyou/yanngu.html

鏡面や金属面、光沢のあるプラスチック面ではない限り、拡散反射と呼ばれる光がToFカメラのセンサーへ入射することになります。
https://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%8B%A1%E6%95%A3%E5%8F%8D%E5%B0%84

拡散反射は、入射光に対して角度がつくほど反射強度が弱まるため、画像の端のように、画角がつくほど反射光の強度は弱まります。

上述のように、画像端では１．距離誤差を生じさせる干渉現象による外乱光となる影響と、２．正確な距離情報を得るための反射光の強度が弱まる
という２つの現象の相乗効果により、画像端での精度が得られないと考えられます。